Laserlithographie

Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)

Veröffentlicht: 4. Sept. 2026

Aktualisiert: 4. Sept. 2026

Quelle: TED - Tenders Electronic Daily (EU)

Ausschreibung zugeschlagen

Zugeschlagen an Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH

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Über diese Ausschreibung

Dies ist ein Auftrag für Lieferungen im Bereich Forschung. Standort: Deutschland, Europa. Diese Ausschreibung steht Unternehmen und Bietergemeinschaften offen.

Veröffentlicht über TED - Tenders Electronic Daily (EU), ein nationales Vergabeportal. Öffentliche Ausschreibungen unterliegen den nationalen Vergabevorschriften und können besondere Anforderungen an Eignung und Unterlagen enthalten für die Lieferung von Waren im Bereich Forschung. Lieferaufträge erfordern in der Regel den Nachweis der Konformität mit technischen Spezifikationen, Lieferfähigkeit und einschlägige Zertifizierungen. Dieser Auftrag wurde bereits vergeben. Die Veröffentlichung erfolgt zu Zwecken der Transparenz und der Marktinformation.

Beschreibung

Automatisch übersetzt aus dem Deutsch

Für die Ausstattung des Reinraums zur Herstellung kompakter Quantensystem werden Geräte für eine Mikrotechnologie Prozesskette beschafft. Es entsteht eine komplette Prozesstechnologiekette vom Wafersubstrat bis zum Quantenchip die in einem von der Universität Ulm zur Verfügung gestellten Reinraum etabliert wird. Dort werden durch das Institut für Quantentechnologien u.a. Technologien für kompakte Dampfzellen so wie Komponenten für Quantenspeicher gebaut, basierend auf der Technologie kalter Atom Gase. Für die Ausstattung des Reinraums wird ein Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von kalten Atomgasen und verwandten Quantentechnologien erweitert. Im Rahmen dieser Ausschreibung wird eine weitere Anlage für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Dies dient der direkten Lithographie auf dem Zielsubstrat mit hoher Auflösung sowie der Herstellung von UV-Lithographiemasken mittels Laserlithographie. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.

Datenherkunft

Diese Bekanntmachung stammt aus TED - Tenders Electronic Daily (EU) und wurde ursprünglich am 4. September 2026 veröffentlicht. Vor 12 Tagen aktualisiert. Originalsprache: Deutsch. BidsFactory spiegelt offizielle Vergabebekanntmachungen und verlinkt für den vollständigen Rechtstext stets auf die Quelle.

Über Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)

Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) hat 188 Vergabebekanntmachungen auf BidsFactory veröffentlicht, davon 15 aktuell offen und 108 vergeben. Schwerpunkt: IKT, Wasser & Sanitärversorgung & Forschung. Alle Bekanntmachungen betreffen Deutschland. Veröffentlicht über TED - Tenders Electronic Daily (EU) & DÖE Bekanntmachungsservice (Germany). Letzte Veröffentlichung: 11. September 2026.

Häufig gestellte Fragen zu dieser Ausschreibung

Wo wird der Auftrag ausgeführt?

Der Auftrag wird in Deutschland ausgeführt. Ausländische Bieter sollten lokale Registrierungs-, Steuer- und Präsenzanforderungen vor der Abgabe prüfen.

Wie kann ich ein Angebot einreichen?

Rufen Sie TED - Tenders Electronic Daily (EU) auf, um die vollständige Bekanntmachung, die erforderlichen Unterlagen und die Einreichungshinweise einzusehen.

Läuft diese Ausschreibung noch?

Nein – der Auftrag wurde an Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH vergeben. Die Bekanntmachung bleibt aus Transparenz- und Marktinformationsgründen auf BidsFactory verfügbar.

Wer ist der Auftraggeber?

Diese Bekanntmachung wurde von Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) in Deutschland veröffentlicht. Der Auftraggeber prüft die Angebote, erteilt den Zuschlag und überwacht die Vertragsausführung.

Um welche Vertragsart handelt es sich?

Es handelt sich um einen Lieferleistungen-Auftrag im Bereich Forschung. Die Einstufung hilft Bietern zu prüfen, ob die Ausschreibung zu ihrem Tätigkeitsfeld passt.