Fourniture d'un équipement de polissage bevel et bord de plaque 200 mm pour le CEA de Grenoble

Pour ses activités de recherche, le CEA-LETI de Grenoble souhaite acquérir un équipement de polissage bevel et bord de plaque 200mm. Cet équipement devra fonctionner en mode « dry-in / dry-out » et comporter au moins trois stations : - Une station de polissage bevel et bord de plaque - Une station de polissage du notch - Une station de nettoyage avec au moins un module à brosses et un sécheur à IPA. Les stations de polissage bevel / bord de plaque et notch devront avoir la capacité à éliminer, de manière non-sélective, toute couche de matériau, quelle que soit son épaisseur et sa nature, recouvrant le substrat initial en une seule passe. La présente consultation comporte > les deux options suivantes à chiffrage obligatoire * : Option n°1 : Formation maintenance niveau 1 pour 2 à 4 personnes Option n° 2 : Formation maintenance avancée pour 2 personnes > les deux options suivantes à chiffrage facultatif * : Option n°3 : Un module de métrologie pour caractériser le profil du bevel Option n°4 : Le transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020). Le CEA est susceptible d’affermir les options au plus tard à la date de notification du marché. Justificatif non allotissement : Le marché a pour objet l’achat d’un équipement de polissage bevel et bord de plaque 200mm. Les prestations fournies avec cet équipement (formations, garantie…) sont liées entre elles et doivent nécessairement être réalisées par le titulaire. Dès lors, en application de l’article L 2113-10 du code de la commande publique, l’objet de la présente consultation ne permet pas l’identification de prestations distinctes.